מערכת מקרטעת מגנטרון

מערכת קפיצת מגנטרון זו בנויה להנחת סרט דק מתכת בייצור מוליכים למחצה. הוא נמצא בשימוש נרחב במעגלים משולבים, התקני חשמל ואריזות מתקדמות. המערכת תומכת בפרוסות של 6 אינץ' ו-8 אינץ' ומספקת צמיחת סרט דק יציבה שניתן לחזור עליה הן עבור מו"פ והן לייצור נפח.

1. סגנון אשכול ועיצוב מודולרי מקלים על התצורה והרחבה לצורכי תהליך שונים.

2. טיפול אוטומטי לחלוטין עם פרוסות עם פונקציות עזר מלאות שומר על יציבות הפעולה ומפחית התערבות ידנית.

3. פריסת מטרה יחידה של חדר אחד תומכת בתהליכים מקבילים וסינכרוניים, ומשפרת את היעילות הכוללת.

4. ביצועי ואקום גבוהים עד ~6E 6 Pa ואחידות עמידות גיליון פחות או שווה ל-3% עוזרים להבטיח איכות סרט עקבית על פני פרוסות.

1. מעגלים משולבים: משמש להפקדת חיבורי מתכת, אלקטרודות ושכבות מחסום בתהליכים הקדמיים והאחוריים.

2. התקני כוח: תומך ביצירת סרט מתכת עבור אלקטרודות, מתכת ופסיבציה ברכיבי מתח גבוה והספק גבוה.

3. אריזה מתקדמת: מספקת מתכת אמינה עבור שכבות חלוקה מחדש (RDL), חבטות ומבני חיבור אריזה אחרים.

תגיות פופולריות: מערכת מקרטעת מגנטרון, יצרנים, ספקים של מערכות מקרטעת מגנטרון