סקירת מוצר

מערכת Nice-Tech' 8-אינץ' IBD מתמחה להנחת סרט דק-נמוך-, בצפיפות-גבוהה-וגבוהה-על פרוסות 8-אינץ'. הוא משתמש בטכנולוגיית קיצוץ עם הגדרת מקור כפול-יון- (קריזה + מקור עזר): המקור הראשי מייצר חלקיקי שקיעה, בעוד שמקור הסיוע מאפשר ניקוי מקדים באתר וצפיפות הסרט.

מצויד בתוף מטרה מסתובב עם 4-חריצים (תומך בעד 4 חומרי מטרה) ומערכת בקרה אופטית-בזמן אמת (מנטר/מכוונן את ספקטרום הסרט), הוא משלב באופן אופציונלי חריטת קרן יונים (IBE) ל"תחריט שיקוע" בתא אחד. תואם לתקני מוליכים למחצה, הוא מתאים לייצור המוני ומו"פ בגודל 8 אינץ'.

יתרונות

סרטים בצפיפות-נמוכה,-גבוהה

יוצר סרטים-איכותיים וצפופים בטמפרטורות נמוכות ולחץ במיוחד-נמוך. זה מונע לחלוטין נזק לפרוסות ומגביר ישירות את עמידות המכשיר לטווח ארוך.-

רב-רבגוניות של חומרים

מצויד בתוף יעד של 4-חריצים, הוא תומך הן בסרטים בודדים והן בסרטים מרוכבים-המכסים מתכות, סגסוגות, תחמוצות ועוד - אין צורך בהחלפת יעדים תכופה.

בקרת דיוק משולבת

בחר ב-IBE כדי לקבל "טרום-נקה ← תצהיר → תחריט" הכל בחדר אחד. ניטור- בזמן אמת מבטיח ביצועי סרט עקביים בכל אצווה.

תאימות רחבה

מותאם אישית עבור פרוסות 8 אינץ'. משתמש ברכיבים סטנדרטיים, מה שהופך את התחזוקה לפשוטה ושילוב עם קווי ייצור קיימים ללא תפרים.

יישומים

01/

רכיבי דיסק קשיח:מפקיד סרטי מפתח (למשל, שכבות הטיה מגנטיות קשות) עבור ראשי קריאה של HDD (TMR/AMR), ומבטיח יציבות מגנטית.

02/

מכשירים אופטיים:מכין Bragg Stacks וסרטים אופטיים אחרים עבור לייזרים, גלאי צילום וחיישנים אופטיים.

03/

חיישני דיוק:מפקיד סרטים פונקציונליים (מגנטיים, מוליכים) עבור MEMS/חיישנים מגנטיים, משפר את הרגישות.0

04/

R&D:תומך בפיתוח סרטים חדשניים (קומפוזיט 2D, סרטים פיזואלקטריים) באוניברסיטאות ובמכוני מחקר.

פרמטרים

קָטֵגוֹרִיָה	מערכת IBD בגודל 8 אינץ'
תאימות רקיק	8-אינץ' (ראשי); ניתן להתאמה למצעים בגודל מיוחד חלקי באמצעות התאמת תהליך
תצורת מקור יונים	מקור -יון- כפול (מקור יונים מקרטעים + מקור יונים עזר); פונקציית IBE (תחריט קרן יונים) אופציונלית
קיבולת תוף יעד	תוף מטרה מסתובב עם 4 חריצים (תומך בעד 4 חומרי מטרה שונים)
טמפרטורת השקיעה	תהליך-בטמפרטורה נמוכה (מונע נזק תרמי לפרוסות ולמכשירים רגישים)
לחץ תהליך	סביבת-לחץ נמוך במיוחד (תורמת להשקעת סרט-בצפיפות גבוהה)
מערכת בקרת סרטים	מערכת בקרה אופטית-אמת (מנטר, מנתח ומתאים את ספקטרום הסרט בזמן אמת)
חומרים הניתנים להפקדה	מתכות, סגסוגות, תחמוצות וניתנים להתאמה אישית עבור סרטים פונקציונליים חדשים (למשל, חומרים מרוכבים דו-ממדיים, סרטים פיזואלקטריים)
שילוב תהליכים	תהליך משולב "טרום-ניקוי-תצהיר-תחריט" (אופציונלי, אותו תא)
תאימות בתעשייה	תואם לתקני עיבוד תעשיית המוליכים למחצה
רכיבי מפתח	חלקים בתקן בינלאומי (עלות תחזוקה נמוכה, החלפת חלקי חילוף נוחה)