ציוד CVD

Nice-סדרת ה-Tech CV600/CV700 הן התקני MOCVD-מסיביים-ייצור גבוהים לגידול אפיטקסיאלי מורכב של מוליכים למחצה, המאמצים טכנולוגיית סיבוב כפול פלנטרי-לווייני קנייני כדי לממש גידול-ריבוי פרוסות עם אחידות-פלסית אחת{{8}.

ציוד MOCVD בסדרת -Tech MC150/MC200/MC300 מאמצת את דגם הזרקת הגז האנכי-הצמוד, עם יתרונות אחידות אפיטקסיאלית מובנים באמצעות חרירי גז מקור מדורגים בצפיפות- גבוהה ומרחק הזרקה קטן הניתן לשליטה.

GaN-MOCVD הוא ציוד גידול אפיטקסיאלי מיוחד המיועד להשקעת גליום ניטריד (GaN) באיכות גבוהה- וסרטים דקים מוליכים למחצה מורכבים.

ציוד מתכת-אורגני כימי אדי (MOCVD) שלנו הוא כלי ייצור ליבה המוקדש להשקעת חומרים אפיטקסיאליים-איכותיים. הוא תוכנן באופן מקצועי להכנת גליום ארסניד (GaAs), אינדיום פוספיד (InP), גליום ניטריד (GaN) ופלים אפיטקסיאליים מוליכים למחצה מורכבים...

ה-LPCVD האנכי TEOS/Poly/SiN היא מערכת -לשקיעת אדים כימיים בלחץ נמוך לייצור מוליכים למחצה. הוא משמש להפקדת סרטים דקים של- Poly, TEOS, SiN ו-HTO באיכות גבוהה.

Nice-Tech פרסמה שלושה דגמי PECVD - Depomerits PE 100, PE 200 ו-PE 300 - ויחד הם יוצרים מטריצת מוצר שמכוסה בכל תרחיש מפתח: ממחקר מעבדה ועד להרצאות קטנות-, וכל הדרך לייצור המוני-בקנה מידה גדול.

מערכת Nice-Tech' 8-ICP-CVD מיועדת להצבת סרט דק- על פרוסות בגודל 8-אינץ'. הוא מייצר פלזמה בצפיפות גבוהה באמצעות צימוד אינדוקטיבי (ICP) ומייצר הטיה באמצעות צימוד קיבולי (CCP), המאפשר שקיעה בטמפרטורה נמוכה.

LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) היא טכניקת תהליכים מוליכים למחצה ליבה - בתנאי לחץ-נמוכים, היא מחממת תרכובות גזים כדי להפעיל תגובות, ומציבה סרטים דקים מוצקים יציבים על משטחי המצע. הוא משמש בעיקר לייצור סרטי מפתח כמו...