סקירת מוצר

מערכת Nice-Tech' 8-ICP-CVD מיועדת להצבת סרט דק- על פרוסות בגודל 8-אינץ'. הוא מייצר פלזמה בצפיפות גבוהה באמצעות צימוד אינדוקטיבי (ICP) ומייצר הטיה באמצעות צימוד קיבולי (CCP), המאפשר שקיעה בטמפרטורה נמוכה.

תואם לתקני SEMI, הוא משתמש ברכיבים אוניברסליים בגודל 8 אינץ' ועבר מבחני יציבות קפדניים. המערכת תומכת בפרוסות בגודל 8/6 אינץ' (באמצעות אלקטרודות אופציונליות), מתאימה לייצור המוני ולצרכי תהליך מגוונים.

יתרונות

טמפרטורה-נמוכה ובצפיפות-גבוהה

מפקיד סרטים בצפיפות- גבוהה ב<120°C, comparable to LPCVD films grown at 750°C, avoiding high-temperature damage to wafers.

ביצועי סרט מעולה

צפיפות זרם הדליפה תואמת לסרטים שהוכנו ALD-, מה שמבטיח יציבות ואמינות חשמלית של המכשיר.

מילוי יחס-היבט- גבוה

מאפשר מילוי אחיד של חורים/חריצים עמוקים, פתרון בעיות מילוי לא אחידות במבנים מורכבים.

תאימות גמישה

עובד עם פרוסות בגודל 8/6 אינץ'; חלקים סטנדרטיים מפחיתים את עלויות התחזוקה ומקלים על האינטגרציה עם קווים קיימים.

יישומים

01/

שקיעת שכבת בידוד
עבור התקני לוגיקה/זיכרון בגודל 8 אינץ' (למשל, DRAM, NAND). מפקיד שכבות בידוד SiO₂/SiNₓ כדי להבטיח בידוד חשמלי אמין בין הרכיבים.

02/

מילוי מבנה יחס-גבוה-
מיושם במוליכי הספק ו-MEMS. ממלא תעלות/חללים עמוקים בדיוק גבוה כדי לשפר את שלמות המבנים של המכשיר.

03/

הפקדת אריזה מתקדמת
משמש באריזה ברמת רקיק בגודל 8- אינץ' (WLCSP, SiP). משקעים סרטי בידוד/הגנה לחיזוק אמינות האריזה.

04/

הכנת סרט פונקציונלי מיוחד
מכין סרטים פונקציונליים מיוחדים: ציפויים אנטי-מחזירי אור עבור גלאי פוטו (הגברת ספיגת האור) וסרטים דיאלקטריים-נמוכים עבור התקני RF (הבטחת שלמות האות).

פרמטרים

קָטֵגוֹרִיָה	מערכת ICP-CVD בגודל 8-
תאימות רקיק	8 אינץ' (ראשי); 6 אינץ' (אופציונלי, באמצעות אלקטרודות תואמות)
טמפרטורת השקיעה	פחות או שווה ל-120 מעלות (תהליך טמפרטורה-נמוכה)
יצירת פלזמה	פלזמת צימוד אינדוקטיבי (ICP) + פלזמת צימוד קיבולית (CCP)
צפיפות הסרט	ניתן להשוות לסרטי LPCVD שגדלו ב-750 מעלות
זרם דליפת סרטים	שווה ערך לסרטים שהוכנו על ידי Deposition Atomic Layer (ALD)
קיבולת מילוי-גבוהה ביחס-	מילוי אחיד לחורים/חריצים עמוקים (מתאים למבני מוליכים למחצה מתקדמים)
חומרים הניתנים להפקדה	SiO₂, SiNₓ וסרטים פונקציונליים אחרים (ניתנים להתאמה אישית על סמך צורכי התהליך)
לשכת תהליכים	עיצוב ואקום גבוה-(מבטיח קומפוזיציה של סרט טהור ותצהיר יציב)
תאימות בתעשייה	תואם לתקני SEMI; תואם לקווי ייצור של רקיקי 8 אינץ'
רכיבי מפתח	חלקים בתקן בינלאומי (מפחית קושי ועלות תחזוקה)