סקירת מוצר

ציוד RTP למחשב שולחני ניתן להסתגל לפרוסות קטנות-, הציוד כולל עיצוב קומפקטי ומיקום גמיש. בקרת טמפרטורה מכסה את טמפרטורת החדר עד 800 מעלות (צמד תרמי) ו-500 מעלות עד 1200 מעלות (פירומטר אינפרא אדום), עם קצב חימום מקסימלי של 150 מעלות / שניות (רקיק בלבד). אחידות הטמפרטורה היא פחות מ-3 מעלות או שווה ל-±3 מעלות (פחות או שווה ל-600 מעלות) / פחות מ-0.5% או שווה ל-±0.5% (~600 מעלות), והשחזור היא ±1 מעלות, מה שמבטיח בקרת טמפרטורה מדויקת. הוא משתמש במצבי טעינה/פריקה ידניים ופתיחה/סגירה של הדלת, מצויד בזמזם ואורות אזהרה, ותומך בשליטה במחשב. ציוד RTP למחשב שולחני יכול לעמוד בדרישות הבסיסיות של עיבוד תרמי מהיר כגון חישול השתלת יונים וצמיחת תחמוצת במחקר ופיתוח מעבדתי ותרחישי ייצור-קטנים.

יתרונות

התאמה גבוהה לחלל: עיצוב קומפקטי מאפשר מיקום גמיש, דורש שטח מינימלי ומתאים למעבדות או לסביבות ייצור-קטנות עם שטח מוגבל.

בקרת טמפרטורה מדויקת ויציבה: אחידות הטמפרטורה מגיעה לפחות מ-3 מעלות או שווה ל-±3 מעלות (פחות או שווה ל-600 מעלות) / פחות או שווה ל-±0.5% (±600 מעלות), עומדת בדרישות דיוק הטמפרטורה של תהליכים בסיסיים.

הפעלה בטוחה ואינטואיטיבית: מצויד בזמזם ואורות אזהרה, הוא מציין מיד את מצב הציוד, ומפחית את הסיכונים התפעוליים. שליטה במחשב נתמכת, והתאמת פרמטרים נוחה.

התאמה טובה לתהליכים בסיסיים: תומך בלחץ מינימלי של 30mTorr ותכולת חמצן של<3ppm. With 4-channel maximum MFC, it meets basic vacuum and atmosphere requirements, adapting to various simple and rapid heat treatment scenarios.

יישומים

חישול השתלת יונים

צמיחת תחמוצת/ניטריד פשוטה

טיפול מקדים בסגסוגת סיליקיד

סגסוגת מגע אוהמית ראשונית

טיפול חום מדגם קטן אחר

פרמטרים

דֶגֶם	RTP-100
גודל רקיק	6 אינץ' ומטה
גוֹדֶל	910 מ"מ ×860 מ"מ × 695 מ"מ (W×D×H)
טווח טמפרטורה	RT ~ ~ 800 מעלות (נשלט על ידי תרמוקופל) 500 מעלות ~ 1200 מעלות (נשלט על ידי פירומטר)
קצב חימום מקסימלי	150 מעלות / שניות --- רקיק 20 מעלות /ש---מנשא SiC 30 מעלות /s --- ציפוי נשא גרפיט SiC
אחידות טמפרטורה	פחות או שווה ל-±3 מעלות @ פחות או שווה ל-600 מעלות פחות או שווה ל-±0.5% @ 600 מעלות
טמפרטורה חוזרת	מעלה אחת ±
מספר מנורות/SCRs	29 יחידות / 10 סט
מקסימום MFC	4
הלחץ הנמוך ביותר	30mTorr
שיעור דליפה	10mTorr/min
O₂אֲחוּזִים	＜3 עמודים לדקה
עוצמה מקסימלית/ממוצעת	60/36 קילוואט
מֶתַח	380V/ 60HZ/ 3 פאזות 5 חוטים
שיטת בקרה	שליטה במחשב

שאלות נפוצות

הזמזם נשמע ונורית האזהרה נדלקת לאחר ההפעלה?

ראשית, לחץ על "RESET" כדי לעצור את האזעקה. בדוק אם דלת החלל סגורה היטב ומנעול הדלת מאובטח. אם הבעיה נמשכת, בדוק את חיווט חיישן נעילת הדלת.

באילו אמצעי זהירות יש לנקוט בעת טעינה ופריקה ידנית של פרוסות?

ללבוש כפפות נקיות כדי למנוע זיהום. טפל בעדינות עם הפרוסה כדי למנוע התנגשויות וודא שהוא מרוכז על המנשא.

כיצד אוכל לעבור בין בקרת טמפרטורה של צמד תרמי/אינפרא אדום?

Switch the "Temperature Control Mode" in the PC software: Use thermocouple for ≤800℃, manually switch to infrared for >800 מעלות. המערכת תכייל אוטומטית לאחר ההחלפה.

קצב החימום אינו 150 מעלות/שניה (רק פרוס)?

אשר שאין ספק (נשאי SiC/גרפיט יגבילו את התעריף); בדוק אם כל המנורות פועלות כראוי. רכיבים פגומים דורשים שירות שלאחר-מכירה.

אחידות הטמפרטורה עולה על 3 מעלות (פחות או שווה ל-600 מעלות)?

אשר רקיק קטן או שווה ל-6 אינץ'; בדוק את עוצמת המנורה בתוכנה, אם לא תקינה, הנחיות מהנדסים לכוונון עדין-; נקה באופן קבוע את תא הקוורץ ולאחר מכן כייל.

חמצון משטח פרוס?

בדוק אם הוואקום קטן או שווה ל-30 mTorr (אם אינו מספיק, בדוק אם יש דליפות והחלף שמן משאבת ואקום); אשר תכולת O₂ < 3 ppm (אם חורג, החלף בלון גז/בדוק אם יש נזילות בצנרת).

נקודות מפתח בתחזוקה יומיומית?

נגב את תא הקוורץ עם אלכוהול מדי שבוע, בדוק את מכלול המנורה כל 3 חודשים (החלף לאחר 1000 שעות), בדוק את טבעת האיטום עבור יישון חודשי, ודא שקירור המים לא יעלה על 70 מעלות.

אזעקת לחץ נמוך של ציוד RTP שולחני?

ת: כבה את התהליך, בדוק את צינור הוואקום, הפעל מחדש את המשאבה; אם עדיין לא תקין, בדוק את קצב הדליפה (אם עולה על 10 mTorr/min, אתר ותקן את הדליפה).

המחשב לא יכול לקרוא פרמטרים?

בדוק את כבל התקשורת בין הציוד למחשב האישי, הפעל מחדש ונסה שוב; אם עדיין אין נתונים, בדוק את חיווט החיישן, או צור קשר לאחר-המכירות כדי לבדוק את מנהל ההתקן של התוכנה.

כיצד לעצור את הציוד במקרה חירום?

לחץ על "EMO Emergency Stop" כדי לנתק את מקור החום ולפתוח את המכסה; לאחר פתרון התקלה, לחץ על "RESET" כדי לאפס ולהפעיל מחדש.