סקירת מוצר

ציוד ה-RTP האוטומטי תואם לפרוסות בגודל 8-12 אינץ', הכולל עיצובי חלל יחיד/כפול-, ותוכנן במיוחד לייצור המוני. תוך שילוב רובוטים ורכיבים אחרים, הוא משיג טעינת פרוסות, חישול וקירור אוטומטיים לחלוטין. זה יכול להתממשק עם מערכות ניהול ייצור ותומך בתהליכים שונים לחבית רקיק בודד. עם בקרת טמפרטורה מדויקת ותפעול יציב (שיעור שבירה של פרוסות פחות או שווה ל-1/10000), הוא כולל הגנות בטיחות מרובות ומתאים לתהליכי חישול ברמת דיוק גבוהה בתחומים מוליכים למחצה ובתחומים אחרים.

תכונות

יש לנו אפשרויות ציוד המכסות רוחב וספירת חדרים שונים, כולם מספקים ביצועים עקביים על פני פרמטרים מרכזיים.

זה עובד גם עם הגדרות של קלטת פתוחה וגם עם הגדרות SMIF, ומטפל בכל התהליך באופן אוטומטי-ממיפוי ויישור ועד העברת ופל, חישול וקירור.

התוכנה מאפשרת לך לבחור מתכונים מוגדרים מראש המותאמים לפרוסות בודדות באותה קלטת, תוך כדי עדכון סטטוס עיבוד בזמן אמת.-

מערכת אוטומטית לחלוטין זו משתלבת בצורה חלקה עם תשתית ה-EAP/MES הקיימת שלך לתיאום זרימת עבודה חלקה יותר.

במהלך ההתקנה וניפוי באגים, מהנדסי-אחרי המכירה שלנו יהיו באתר-כדי לספק תמיכה-ידית ולטפל בכל בעיה שצצה.

יתרונות

באמצעות מנורות הלוגן אינפרא אדום כפולות לחימום, יחד עם קירור חנקן מהיר, המערכת מתהדרת בסירקולציה תרמית יעילה ויציבה.
עיצוב קיבוץ מנורות ייעודי מבטיח טמפרטורה אחידה יותר בכל אזור העיבוד.
אלגוריתם מובנה-בבקרת PID מאפשר התאמה-בזמן אמת של עוצמת המנורה, תוך שמירה על בקרת טמפרטורה מדויקת לאורך כל התהליך.
ניהול גישת משתמש בשלוש-רמות מבטיח בקרת מידע נוחה ומאובטחת. ממשק התוכנה הראשי מציג פרמטרים מרכזיים כמו קצב זרימת גז, טמפרטורה ורמת ואקום בזמן אמת, ומספק סקירה ברורה של המצב.
המערכת שומרת אוטומטית את כל הנתונים הקשורים לתהליך-למען מעקב קל בעתיד.
הוא כולל מנגנון הגנה מקיף נגד חריגות שמפעיל מיד הגנה לאחר זיהוי תקלה, כולל התחממות יתר (תא-מסגסוגת אלומיניום מקורר גדול מ-70 מעלות או שווה ל-70 מעלות), קריאות חריגות של צמד תרמי, עוצמת חימום חריגה, דלת תנור לא נעולה, לחץ גז מופרז, זרימת מים לא מספקת.
ניתן להפעיל פונקציית עצירת חירום באמצעות כפתור בודד, תוך הפסקת כל התהליכים ומנתקת את מקור החום.

פרמטרים

דֶגֶם	RTP-200	RTP-300
גודל רקיק	8 אינץ' ומטה 12 אינץ' ומטה	8 אינץ' ומטה 12 אינץ' ומטה
מספר לשכה	1	2
טען מספר קלטת	2	2 או 3
טען קלטת שִׁיטָה	SMIF או Open Cassette
גוֹדֶל	1600 מ"מ × 2450 מ"מ × 2200 מ"מ (W×D×H)	2100 מ"מ × 2450 מ"מ × 2200 מ"מ (W×D×H)
טווח טמפרטורה	RT ~ ~ 800 מעלות (נשלט על ידי תרמוקופל) 500 מעלות ~ 1250 מעלות (נשלט על ידי פירומטר)	RT ~ ~ 800 מעלות (נשלט על ידי תרמוקופל) 500 מעלות ~ 1250 מעלות (נשלט על ידי פירומטר)
קצב חימום מקסימלי	150 מעלות / שניות --- רקיק 20 מעלות / s --- מנשא SiC 30 מעלות /s --- ציפוי נשא גרפיט SiC	150 מעלות / שניות --- רקיק 20 מעלות / s --- מנשא SiC 30 מעלות /s --- ציפוי נשא גרפיט SiC
אחידות טמפרטורה	פחות או שווה ל-±3 מעלות @ פחות או שווה ל-600 מעלות פחות או שווה ל-±0.5% @ 600 מעלות	פחות או שווה ל-±3 מעלות @ פחות או שווה ל-600 מעלות פחות או שווה ל-±0.5% @ 600 מעלות
טמפרטורה חוזרת	מעלה ±1	מעלה ±1
מספר מנורות/SCRs	33 ea / 10 סט	45 יחידות / 16 סט 55 ea / 24 סט
מקסימום MFC	6	6
הלחץ הנמוך ביותר	30mTorr	30mTorr
שיעור דליפה	10mTorr/min	10mTorr/min
O₂אֲחוּזִים	＜1 עמודים לדקה	＜1 עמודים לדקה
אוֹטוֹמָטִי	OCR + רובוט (זרוע כפולה) + אצבעות (ואקום/ברנולי) + יישור + תחנת קירור
WPH(חיזוי)	5
זמן פעילות	＞92%
זמן ממוצע לניקוי (MTTC)	פחות או שווה ל-6 שעות
זמן ממוצע לתיקון (MTTR)	פחות או שווה ל-4 שעות
זמן ממוצע בין כשלים (MTBF)	גדול או שווה ל-200 שעות
Mean Wafers Between Breakage (MWBB)	פחות או שווה ל-1 מתוך 10,000 פרוסות
עוצמה מקסימלית/ממוצעת	90/60 Kw(ATS-8) 100/80 Kw(ATS-12)	180/120 Kw(DTS-8) 200/160 Kw(DTS-12)
מֶתַח	380V/ 60HZ/ 3 פאזות 5 חוטים	380V/ 60HZ/ 3 פאזות 5 חוטים
שיטת בקרה	שליטה במחשב	שליטה במחשב