סקירת מוצר
ציוד RTP למחצה-אוטומטי זה די פרקטי, המסוגל לעבד פרוסות מ-8 עד 12 אינץ'. ציוד RTP למחצה-אוטומטי מציע בקרת טמפרטורה מדויקת ותכולת חמצן נמוכה מאוד, מה שהופך אותו לאידיאלי עבור יישומים הדורשים טוהר תהליכים גבוה. יתר על כן, הוא עשיר בתכונות-, תומך בשיטות עיבוד אטמוספריות ובשיטות עיבוד ואקום, וכולל תכונות בטיחות משולשות. זה מושלם עבור תהליכים כמו אופטימיזציה של ITO וחישול סגסוגת סיליקיד בייצור בנפח- בינוני.
יתרונות
יכולת הסתגלות רחבה:
מטפל בפרוסות בגודל 8-12 אינץ', עונה על צורכי ייצור אצווה בגדלים שונים. מנורה גמישה ותצורות SCR מתאימות לתרחישי תהליכים מגוונים.
אוטומציה משפרת את היעילות:
בעוד שעדיין נדרשת טעינה ופריקה ידנית של פרוסות, דלת החדר נפתחת ונסגרת אוטומטית לאחר הפעלת התהליך, מה שמפחית את ההתערבות הידנית ומשפר את היעילות התפעולית ועקביות התהליך.
אווירה מדויקת:
תכולת חמצן<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.
בטוח ואמין:
מצויד בתכונות בטיחות משולשות, בשילוב עם בקרת דלת תא אוטומטית, הפחתת סיכונים תפעוליים ותהליכיים והבטחת פעולת ציוד יציבה.
פרמטרים
|
דֶגֶם |
RTP-SA-8 |
RTP-SA-12 |
|
גודל רקיק |
8 אינץ' ומטה |
12 אינץ' ומטה |
|
גוֹדֶל |
970 מ"מ × 1550 מ"מ × 2160 מ"מ (W×D×H) |
1050 מ"מ × 1740 מ"מ × 2240 מ"מ (W×D×H) |
|
טווח טמפרטורה |
RT ~ ~ 800 מעלות (נשלט על ידי תרמוקופל) 500 מעלות ~ 1250 מעלות (נשלט על ידי פירומטר) |
RT ~ ~ 800 מעלות (נשלט על ידי תרמוקופל) 500 מעלות ~ 1250 מעלות (נשלט על ידי פירומטר) |
|
קצב חימום מקסימלי |
150 מעלות / שניות --- רקיק 20 מעלות / s --- מנשא SiC 30 מעלות /s --- ציפוי נשא גרפיט SiC |
150 מעלות / שניות --- רקיק 20 מעלות / s --- מנשא SiC 30 מעלות /s --- ציפוי נשא גרפיט SiC |
|
אחידות טמפרטורה |
פחות או שווה ל-±3 מעלות @ פחות או שווה ל-600 מעלות פחות או שווה ל-±0.5% @ 600 מעלות |
פחות או שווה ל-±3 מעלות @ פחות או שווה ל-600 מעלות פחות או שווה ל-±0.5% @ 600 מעלות |
|
טמפרטורה חוזרת |
מעלה אחת ± |
מעלה אחת ± |
|
מספר מנורות/SCRs |
33 ea / 10 סט |
41 יחידות / 16 סט 55ea / 24 סט |
|
מקסימום MFC |
6 |
6 |
|
הלחץ הנמוך ביותר |
30mTorr |
30mTorr |
|
שיעור דליפה |
10mTorr/דקה |
10mTorr/דקה |
|
O2אֲחוּזִים |
＜1 עמודים לדקה |
＜1 עמודים לדקה |
|
עוצמה מקסימלית/ממוצעת |
90/50 קילוואט |
100/60 קילוואט |
|
מֶתַח |
380V/ 60HZ/ 3 פאזות 5 חוטים |
380V/ 60HZ/ 3 פאזות 5 חוטים |
|
שיטת בקרה |
שליטה במחשב |
שליטה במחשב |
שאלות נפוצות
1.דלת תא לא נפתחת/נסגרת אוטומטית?
בדוק אם התהליך התחיל כרגיל. הפעל מחדש את הציוד ונסה שוב. אם הבעיה נמשכת, בדוק את חיווט חיישן דלת החדר.
2. תכולת החמצן עולה על 1 ppm?
החלף בגז אינרטי-בטוהר גבוה. בדוק אם יש נזילות בצינור הגז. תקן ובדוק מחדש את רמות החמצן.
3. חימום רקיק לא אחיד?
ודא שגודל הפריס נכון (8/12 אינץ'). נקה את תא הקוורץ. אם הבעיה נמשכת, פנה למהנדס כדי לכוונן את כוח המנורה.
4. רקיק מחליק בקלות במהלך טעינה/פריקה ידנית?
נקה את משטח המנשא. דחוף בעדינות את הפרוסה למרכז במהלך טעינה/פריקה. לבש כפפות ללא- החלקה וללא אבק-.
5.איך לעצור במקרה חירום?
לחץ על "EMO Emergency Stop" כדי לנתק את מקור החום. לאחר פתרון הבעיה, לחץ על כפתור "איפוס" כדי להפעיל מחדש.
הסמכה
◆ אישור תאימות SEMI S2
תגיות פופולריות: ציוד rtp חצי-אוטומטי, יצרנים, ספקים של ציוד rtp חצי-אוטומטי
