סקירת מוצר
שלושת ציוד הקזת מגנטרונים של החברה שלנו, המבוססים על טכנולוגיית PVD, כולם מפקידים סרטים-מתכתיים, דיאלקטריים ומוליכים למחצה באיכות גבוהה, אך שונים במיקוד היישום.
קח את המודל התעשייתי-חד-תא: הוא תוכנן לייצור-בקנה מידה גדול, עם ניצול יעד בולט ששומר על עלויות. הוא מטפל בפרוסות בגודל 8 אינץ' בצורה חלקה, ומספק את דרישות הייצור התעשייתי העקבי.
אז יש את הגרסה התעשייתית הרב-תאי, שמשתמשת בחדרים מודולריים ועצמאיים (תחשוב על חימום, קפיצה ועוד) כדי להפוך את תהליך הציפוי כולו לאוטומטי.
זהו מחליף-משחק להפקה-המונית של סרטים מרובי-שכבות מורכבות, ומצמצם את ההתערבות הידנית. מאידך, מכונת ציון המחקר- מיועדת במיוחד עבור אוניברסיטאות ומוסדות מחקר. הוא מציע הגדרות גמישות-כגון ריבוי-מטרות ריבוי-כדי להתאים-עבודת מו"פ קטנה, בין אם לחומרי סיליקון קרביד או אבות טיפוס של שבבים קוונטיים. בכל השלושה, אנו דבקים במחויבות "איכות האומנות" שלנו, ומוודאים שהם עונים על הצרכים המגוונים של תעשיית המוליכים למחצה.
כדי לקבל את הפתרון הטוב ביותר עבורך, אנא צור איתנו קשר.
יישומים
לשלושת ציוד הקזת Magnetron של החברה שלנו לכל אחד יש נישה משלהם-יחד המכסים את כל הצרכים בתעשיית המוליכים למחצה.
קח את המודל התעשייתי של-חדרים: הכל עוסק בייצור-בקנה מידה גדול, כמו מעגלים משולבים. להכנת סרט דק של רקיק בגודל 8- אינץ', הוא מהיר ויציב, נכנס ישירות לקווי הייצור של CMOS/IGBT, ומגיע ללא תקלות הן ביעדי הקיבולת והן ביעדי התשואה.
הרב-תא התעשייתי-מתבלט עם אוטומציה מלאה ושילוב מוצק. הסרטים הרב-שכבתיים המורכבים והמסוכנים האלה עבור 5G ומכשירים אופטו-אלקטרוניים? הוא מטפל בהם בקלות, ועומד בדרישות הדיוק ההדוקות של ייצור המוני.
ואז מודל המחקר-לציונים-זה מותאם למחקר ופיתוח אוניברסיטאי. הוא תומך בבדיקות אצווה קטנות- של חומרים חדשים כמו סיליקון קרביד, ופועל כפלטפורמת אימות גמישה במיוחד.
יתרונות
שלושת ציוד הקזת מגנטרון שלנו מביאים כל אחד עוצמות ממוקדות לשולחן, המותאם לתרחישי יישומים שונים:
1. דגם יחיד-תעשייתי:
הוא זוכה להישגים גבוהים עם ניצול יעד גבוה-הקצץ ישירות בעלויות התפעול. בעת עיבוד פרוסות בגודל 8- אינץ', הוא מספק ביצועים יציבים; אחידות הסרט נשארת בטווח של ±3%, ועומדת בקלות בדרישות התשואה התעשייתיות. בנוסף, המבנה הפשוט שלו הופך את התחזוקה לפשוטה.
2. דגם רב-תעשייתי תעשייתי:
תאים אוטומטיים מודולריים הם האס שלו בתוך החור, מה שמגביר את יעילות הייצור באופן משמעותי. הוא כולל גם בקרת חלקיקים מתקדמת, המבטיחה -טוהר הסרטים העליון-מושלם ליצירת סרטים מרובי-שכבתיים המשמשים ב-5G ומכשירים אופטו-אלקטרוניים. יתרה מכך, יכולת האינטגרציה החזקה שלו מאפשרת לו להסתגל למגוון רחב של חומרים בצורה חלקה.
3. מחקר-מודל ציון:
הוא עוצב מתוך מחשבה על מחקר ופיתוח, ומציע הגדרות גמישות כמו קפיצת-מטרות מרובות כדי להתאים לצרכי פיתוח חומרים חדשים. דיוק ברמת המיקרומטר-מעניק תמיכה אמינה לאימות תהליכים, ועיצוב עיבוד אצווה קטן-מסייע לצמצם את הוצאות הניסיון של מו"פ-אידיאלי עבור חקר מעבדה.
פרמטרים
|
פָּרִיט |
דגם יחיד-תעשייתי |
דגם רב-תעשייתי תעשייתי |
מחקר-מודל ציון |
|
גודל רקיק ישים |
8 אינץ' ומטה |
6 אינץ'/ 8 אינץ' |
8 אינץ' ומטה |
|
ואקום אולטימטיבי |
8x10-5 פא |
2x10-5 פא |
- |
|
אחידות הסרט |
פחות או שווה ל-±3% |
פחות או שווה ל-±3% |
±3% (מטרה 4 אינץ', רקיקת 8 אינץ') |
|
בקרת טמפ' שלב המצע |
RT-650 מעלות (או קירור) |
- |
RT-600 מעלות (חימום או קירור) |
|
מהירות סיבוב שלב המצע |
- |
- |
5-20 סל"ד |
|
שיטת הקפיצה |
קפיצת מטרה אחת- |
- |
ריזוי-יעד/רב-מטרות רצף/משותף-יחיד |
|
ספק כוח |
DC/RF/MF אופציונלי |
- |
DC/RF/MF אופציונלי |
|
תצורות מפתח |
תא תהליך יחיד; פחות או שווה ל-4 תותחי מטרה |
פחות או שווה ל-5 תאי תהליך (חימום, קירור, קיצוץ וכו') |
ריבוי-מטרות: תא קדם-ואקום (אופציונלי); |
|
חומרים ישימים |
סיליקון, תרכובות, קרמיקה וכו'. |
סיליקון, תרכובות וכו'. |
מתכות (Al, Au, Cu), דיאלקטריות (SiO2, TaN), מוליכים למחצה |
שאלות נפוצות
איך לבחור בין שלושת הדגמים?
לייצור המוני של פרוסות בגודל 8- אינץ' (למשל, CMOS/IGBT), בחרו בדגם החלל התעשייתי היחיד-; עבור סרטים מרובי שכבתיים מורכבים ב-5G/אופטואלקטרוניקה, בחרו בדגם רב-חללים תעשייתי; עבור מחקר ופיתוח של חומרים חדשים באוניברסיטאות (למשל, סיליקון קרביד), בחר את מודל המחקר.
האם הוא תומך בציפוי חומרים שאינם מבוססי-סיליקון-?
כן, זה תומך בכל, מכסה קרמיקה, מוליכים למחצה מורכבים, מתכות (Al/Au), דיאלקטריות (SiO₂) וכו'.
האם ניתן להרחיב את גודל הוופל?
ברירת המחדל היא 8 אינץ' ומטה (6-8 אינץ' עבור הדגם מרובי-חללים). הרחבה בקנה מידה קטן ניתן להתאים אישית מראש, אך יש להעריך את היתכנות התהליך.
מהם תנאי הבדיקה לאחידות עובי הסרט פחות או שווה ל-±3%?
מבוסס על פרוסות 8 אינץ' (4 אינץ' מטרה + 8- אינץ' פרוסות עבור מודל המחקר), בדיקת שכבת מתכת/סרט דיאלקטרי סטנדרטית. אופטימיזציה אפשרית עבור חומרים/עובי סרט שונים.
האם ניתנת הדרכת התקנה?
אנו מספקים-התקנה והפעלה באתר, בתוספת הדרכות תפעול/תחזוקה כדי להבטיח שהצוות יוכל להתחיל במהירות.
האם ניתן לשדרג את הציוד מאוחר יותר?
ניתן לשדרג מודלים מרובי-חללים ומחקרים באמצעות רובי מטרה/תאי ואקום קדם-; לדגמי חללים בודדים-יש פוטנציאל שדרוג מוגבל, לכן אנו ממליצים להגדיר בבירור צרכים-לטווח ארוך מלכתחילה.
כמה זמן מחזור המשלוח? האם ניתן לזרז את זה?
דגמי-חלל/מחקר בודדים: 8-12 שבועות; דגמים מרובי חללים: 12-16 שבועות; אספקה מזורזת ניתנת למשא ומתן ותלויה בתזמון קו הייצור.
האם יש הנחות על עלויות התחזוקה שלאחר-הפקה?
בעיקר לחומרי מטרה וחומרים מתכלים. חומרים מתכלים מוצעים בהנחה של יותר או שווה ל-10% למשך 5 שנים לאחר תקופת האחריות. אנו מספקים גם הנחיות תחזוקה להפחתת עלויות.
תגיות פופולריות: ציוד לקמץ מגנטרונים, יצרנים, ספקים של ציוד לקיזוי מגנטרונים
