תנור חישול SiC בטמפרטורה גבוהה

תנור החישול בטמפרטורה גבוהה SiC הוא ציוד מיוחד לעיבוד תרמי שנבנה לייצור מכשירי כוח סיליקון קרביד (SiC). הוא משמש בעיקר לביצוע תהליכים תרמיים-בטמפרטורה גבוהה כמו הפעלת השתלת יונים-בטמפרטורה גבוהה ועיגול פינות תעלה-שני שלבים קריטיים בייצור התקני מוליכים למחצה SiC בעלי ביצועים גבוהים-. על ידי יצירת סביבה תרמית מבוקרת במדויק-בטמפרטורה גבוהה, תנור זה עוזר להתאים את תכונות החומר והתכונות המבניות של פרוסות SiC, ומניח בסיס איתן לייצור רכיבים אלקטרוניים בעלי הספק SiC באיכות גבוהה-אמינה.

סביבת עיבוד תרמית בטוהר גבוה במיוחד

התנור משתמש בחומרי שדה תרמיים בטוהר- גבוה, מה שמפחית מאוד את זיהום הטומאה במהלך עיבוד-בטמפרטורה גבוהה. זה עוזר לשמור על איכות פרוסות SiC מעולה ומשפר באופן משמעותי את תפוקת המכשיר, ועומד בדרישות הטוהר המחמירות של ייצור מוליכים למחצה מתקדם.

מערכת הפעלה חכמה ואוטומטית

עם מנגנון טעינה/פריקה של הרמה אנכית ומערכת האכלה אוטומטית של פרוסות, הציוד מאפשר טיפול אוטומטי מאוד בפרוסים. זה מצמצם את ההתערבות הידנית ואת השגיאות התפעוליות תוך שיפור יעילות העיבוד, מה שהופך אותו למתאים לייצור רציף בקנה מידה גדול.

אחידות תהליכים מצוינת

באמצעות עיצוב מתקדם המשלב שדות טמפרטורה וזרימה, הכבשן משיג אחידות טמפרטורה חזקה וחלוקת זרימת גז עקבית על פני כל תא התהליך. זה מבטיח שכל רקיקת SiC מקבלת טיפול תרמי אחיד, תוך הימנעות מהבדלי איכות הנגרמים מעיבוד לא אחיד.

ביצועי תהליך יציבים וניתנים לשחזור

הציוד, שהוכח בייצור-בקנה מידה גדול, מספק יציבות וחזרה יוצאת דופן של תהליך. זה יכול לייצר באופן עקבי תוצאות אמינות אצווה אחר אצווה, לתמוך בייצור המוני יציב של התקני SiC ולהפחית את תנודות הייצור וסיכוני איכות.

תנור חישול בטמפרטורה גבוהה SiC זה הוא חלק מרכזי של ציוד תהליך בשרשרת הייצור של מכשירי כוח SiC. היישומים העיקריים שלו כוללים:

חישול הפעלת השתלת יונים

הוא מבצע חישול הפעלה בטמפרטורה גבוהה-על פרוסות SiC לאחר השתלת יונים, הפעלת אטומי זיהומים מושתלים, תיקון נזקי סריג מהשתלה ויצירת אזורים מוליכים יציבים וניתנים לשליטה-שלב חיוני ביצירת חיבורי מכשירי SiC וערוצים מוליכים.

יישור פינת תעלה עיגול

הוא מבצע החלקת-טמפרטורות גבוהות על מבני תעלות בפרוסות SiC, עיגול פינות תעלה חדות, הפחתת ריכוז שדה חשמלי ומשפר את התנגדות המתח והאמינות של התקני כוח SiC מסוג-תעלות כגון MOSFETs ו-IGBTs.

עיבוד תרמי כללי-בטמפרטורה גבוהה עבור פרוסות SiC

הוא תומך גם בתהליכים תרמיים אחרים בטמפרטורה-גבוהה הדרושים לייצור פרוסות SiC, כולל חישול הפחתת מתח, שינוי פני השטח ואופטימיזציה של איכות הגביש. הוא מכסה את כל המגוון של צרכי טיפול תרמי-גבוהים עבור מו"פ וייצור המוני של התקני SiC בגודל 6 אינץ' ו-8 אינץ'.

תגיות פופולריות: sic תנור חישול בטמפרטורה גבוהה, סין יצרנים, ספקים של תנורי חישול בטמפרטורה גבוהה