סקירת מוצר
צינור התנור האנכי שלנו הוא פתרון עיבוד תרמי מיוחד שנבנה לייצור מוליכים למחצה מורכבים ואופטואלקטרוניים. הוא מתוכנן לספק סביבות תרמיות עקביות וניתנות לשחזור עבור תהליכי רקיק קריטיים, תוך שילוב של עיצוב מכני חזק עם בקרת טמפרטורה וגז מדויקת כדי לתמוך בייצור-בנפח גבוה עם חלונות תהליך הדוקים.
יתרונות
ביצועים יציבים ואמינים: המערכת מתוכננת לפעולה לטווח ארוך-בזמן השבתה-נמוך, עם אחידות תרמית עקבית וחזרה על תהליכים שעוזרים לשמור על תפוקות גבוהות לאורך ריצות ייצור.
אמצעי בטיחות חזקים: מערכת נעילת בטיחות שכבתית עוקבת באופן רציף אחר תנאי הטמפרטורה, הלחץ והגז, ומגיבה אוטומטית לחריגות כדי להגן על מפעילים, פרוסות וציוד.
פעולה אינטואיטיבית, יעילה: הממשק וזרימת העבודה מיועלים כדי לצמצם את זמן ההדרכה וטעויות אנוש, בעוד מחזורי טעינה ותהליכים אופטימליים משפרים את התפוקה הכוללת וקלות התחזוקה.
כיסוי תהליך גמיש: תואם לפרוסות בגודל 6 אינץ' ו-8 אינץ', מחזיק עד 150 חתיכות בכל הפעלה, ופועל מ-400 מעלות עד 1250 מעלות, מה שהופך אותו למתאים למגוון רחב של שלבים תרמיים בייצור מכשירים מודרניים.
יישומים
צינור תנור אנכי זה תומך במגוון שלם של תהליכים תרמיים המשמשים בייצור מוליכים למחצה ואופטואלקטרוניים:
חמצון: יצירת שכבות דיאלקטריות באיכות גבוהה-על משטחי רקיק
חישול: הפגת מתח, תיקון פגמים וכוונון תכונות החשמל של החומר
סגסוגת: התאמת הרכב וביצועים של-סגסוגות סרט דק
ריפוי PI: הצלבת פולימר וייצוב לשכבות פוליאמיד
תצהיר דק-: פולי, TEOS, SiN, HTO ותהליכי צמיחת סרטים מרכזיים אחרים
שאלות נפוצות
ש: 1. מהו צינור תנור אנכי?
ת: צינור תנור אנכי הוא ציוד לעיבוד תרמי-בדיוק גבוה לייצור מוליכים למחצה ואופטואלקטרוניים, המשמש לחמצון, חישול, סגסוגת, ריפוי PI ותצהיר סרט דק.
ש: 2. לאילו תהליכים משמש צינור התנור האנכי?
ת: הוא תומך בתהליכי חמצון, חישול, סגסוגת, ריפוי PI, פולי, TEOS, SiN, HTO ותהליכי צמיחת סרט דק אחרים.
ש: 3. באילו גדלים וטווח טמפרטורות הוא תומך?
ת: הוא תומך בפרוסות בגודל 6 אינץ' ו-8 אינץ' (עד 150 חתיכות בכל אצווה) עם טווח טמפרטורת תהליך של 400 מעלות -1250 מעלות.
ש: 4. מהם היתרונות העיקריים של צינור תנור אנכי זה?
ת: אמינות ויציבות גבוהה, מערכת נעילת בטיחות מלאה, תפעול ידידותי למשתמש, יעילות גבוהה ואחידות תהליכים מצוינת.
ש: 5. האם זה קל לתפעול ולתחזוקה?
ת: כן, הוא כולל ממשק פשוט, זרימת עבודה יעילה ודרישות תחזוקה נמוכות.
ש: 6. האם ניתן להתאים אותו לתהליכים ספציפיים?
ת: כן, אנו מציעים התאמה אישית לטמפרטורה, מערכות גז, מתכוני תהליך ושיטות טעינה כדי לענות על צרכים מיוחדים.
תגיות פופולריות: תנור עיבוד תרמי אנכי, יצרנים, ספקים של תנורי עיבוד תרמי אנכיים בסין
