סקירת מוצר
תנור החמצון הזה בטמפרטורה גבוהה- של SiC הוא מכשיר מיוחד לעיבוד תרמי שנבנה לייצור מוליכים למחצה סיליקון קרביד. הוא משמש בעיקר לגידול שכבות תחמוצת שער- באיכות גבוהה עבור SiC MOSFETs, תמיכה בתהליכים הדורשים צפיפות מלכודת ממשק נמוכה וניידות ערוץ גבוהה. מעבר לייצור SiC MOSFET, הוא יכול גם להתמודד עם מגוון תהליכי חמצון אחרים בטמפרטורה גבוהה- בייצור מוליכים למחצה.
יתרונות
1. עיבוד יציב ואחיד: מבנה הוואקום הכפול-שכבתי-אטום שומר על עקביות סביבת התהליך, בעוד שהטמפרטורה ואחידות זרימת הגז עוזרות להבטיח איכות תחמוצת על פני פרוסות.
2. סביבת עיבוד נקייה: חומרי שדה תרמיים בטוהר- גבוה מפחיתים זיהום מתכת וחלקיקים בטמפרטורות גבוהות, ותומכים בצרכי הניקיון של תהליכי מוליכים למחצה מתקדמים.
3. אפשרויות אטמוספירה גמישות: תומך בלחץ נמוך,-חמצן יבש, NO וטיפולים אחרים באווירה, מה שהופך אותו להתאמה לדרישות שונות של תהליך החמצון.
4. יכולת ניקוי-מובנית: כולל פונקציית ניקוי יוני מתכת מקוונת כדי לסייע בהסרת זיהומים מפרוסות ומהתא, ולשפר את ניקיון התהליך הכולל.
5. תאימות תהליכים רחבה: עובד עם פרוסות בגודל 6- אינץ' ו-8 אינץ', עם גדלי אצווה של 50 או 75 חתיכות, ופועל ב-800 מעלות עד 1500 מעלות, מתאים הן למחקר ופיתוח והן לשימוש בקנה מידה ייצור.
יישומים
1. שימוש ראשוני: צמיחת תחמוצת שער בייצור SiC MOSFET, עוזר להשיג צפיפות מלכודת ממשק נמוכה וניידות ערוץ גבוהה לביצועי מכשיר טובים יותר.
2. שימוש ממושך: תהליכי חמצון וטיפול תרמי אחרים בטמפרטורה-גבוהים בייצור מוליכים למחצה, כגון הכנת סרט תחמוצת לחומרי פס רחב- וחישול פרוסות.
3. שימוש במו"פ: פיתוח תהליכים ואופטימיזציה במעבדות ובמוסדות מחקר העובדים על SiC וטכנולוגיות מוליכים למחצה מתקדמות.
שאלות נפוצות
ש: 1. מהו תנור חמצון SiC בטמפרטורה גבוהה-?
ת: זהו ציוד מקצועי לעיבוד תרמי לייצור מוליכים למחצה SiC, המשמש בעיקר לגידול תחמוצת שערים באיכות -גבוהה ברכיבי SiC MOSFET ותהליכי חמצון אחרים בטמפרטורה- גבוהה.
ש: 2. באילו גדלים ויכולות אצווה הוא תומך?
ת: הוא תומך בפרוסות בגודל 6 אינץ' ו-8 אינץ', עם קיבולות אצווה של 50 חתיכות/אצווה או 75 חתיכות/אצווה, מתאים למו"פ וייצור המוני.
ש: 3. מהו טווח טמפרטורת התהליך של תנור החמצון SiC?
ת: טמפרטורת התהליך נעה בין 800 מעלות ל-1500 מעלות, ועומדת בדרישות החמצון-הגבוהות של חומרי SiC.
ש: 4. באילו אטמוספרות ותהליכים הוא יכול להתמודד?
ת: הוא תומך בלחץ נמוך-, חמצן יבש, NO וטיפולים אחרים באווירה, ויש לו פונקציית ניקוי יוני מתכת מקוונת.
ש: 5. איך זה מבטיח ניקיון ואחידות התהליך?
ת: הוא מאמץ מבנה איטום ואקום כפול-שכבתי וחומרי שדה תרמיים-בניקיון גבוה, מבטיח אחידות טמפרטורה/זרימת גז ומפחית זיהום מתכת/חלקיקים.
תגיות פופולריות: sic כבשן חמצון בטמפרטורה גבוהה, סין sic sic תנורי חמצון בטמפרטורה גבוהה יצרנים, ספקים
