עקרונות ותחומים של פרופילומטר אופטי תלת מימד

עיקרון טכני
הפרופיל האופטי התלת מימדי מאמץ בעיקר שתי טכנולוגיות אופטיות:
1. טכנולוגיית הפרעות אור לבן: על ידי ניתוח שינויי הפאזה של שולי הפרעות וחישוב הפרש גובה פני השטח, יש לה רזולוציה אורכית תת ננומטרית.
2. טכנולוגיה Confocal: תוך ניצול עקרון הפוקוס המצומד של עדשת האובייקטיב, דיוק המיקוד מגיע ל-2nm, מתאים למדידת משטחים בשיפוע גבוה.

שדה יישום
1. ייצור מדויק: ניתוח כשל של שבבי מוליכים למחצה, אפיון התקני MEMS.
2. מחקר חומרים: זיהוי קורוזיה של מתכות/פלסטיק, מדידת רפלקטיביות סרט אופטי.
3. בדיקות תעשייתיות: ניתוח בלאי של רכיבי רכב, הערכת שטוחות של רכיבי תעופה וחלל.