מיקרוסקופ תלת מימד הוא מכשיר לניתוח מורפולוגיה של פני השטח-בדיוק גבוה עם טווח מדידה המכסה סולמות ננומטר עד מילימטר, שיכול לנתח פרמטרים כגון חספוס, גובה צעד ופרופיל פני השטח. מכשיר זה מאמץ טכנולוגיית בדיקה לא-הרסנית ואין לו דרישות מיוחדות לקשיחות פני השטח של המדגם. יש לו מאפיינים של סריקה מהירה ויציבות גבוהה. סדרת Miracle Vision, שהושקה בשנת 2025, משלבת מערכות אופטיות ואלגוריתמים חכמים, תומכת בפונקציות מדידה דו-ממדית ושחזור תלת-ממד, ומיושמת בתחומים כמו מוליכים למחצה, ביו-שבבים ועיבוד שבבי מדויק.
מאפיינים טכניים
טווח הגדלה אופטי 108x-17280x, תומך בפונקציית תצפית תלת מימדית מסתובבת.
אימוץ טכנולוגיית פילוס חכמה ופונקציית ניווט אזורית לשיפור יעילות המדידה.
דיוק המדידה נשאר בטווח של ± 2% מהערך הנמדד (נכון לשנת 2021).
