ציוד החמצון והדיפוזיה RTP הוא כלי עיבוד תרמי עיקרי עבור מוליכים למחצה-המשלב חמצון, דיפוזיה וחישול ליחידה אחת קשוחה. הוא עובד בצורה חלקה עם סיליקון, סיליקון קרביד וחומרים קריטיים אחרים, מטפל בפרוסות של עד 8 אינץ', וצבר מוניטין של ביצועים אמינים ושליטה מדויקת העונה על הדרישות היומיומיות של עיבוד מוליכים למחצה.
יישומי ליבה
1. ייצור המוני של מכשירים מבוססי סיליקון-: זהו סוס העבודה מאחורי ICs, IGBTs ורכיבים דומים. אתה תשתמש בו לגידול סרטים מבודדים באמצעות חמצון, קביעת רמות סימום עם דיפוזיה וגיהוץ פגמים באמצעות חישול-כל זאת תוך עמידה בקצב-הנפח הגבוה הדרושה באלקטרוניקה צריכה ובקרה תעשייתית.
2. עיבוד חומר רחב-בפער פס: הכלי הזה באמת בא לידי ביטוי עם חומרים מתקדמים כמו SiC ו-GaN. זה מאפשר לך לכוונן ריכוזי סימום בדיוק כמו שצריך ולהחליק ממשקי חומרים, וזה המפתח להפיכת חלקים בעלי ביצועים-בעלי ביצועים גבוהים-לחשוב עבור רכבי אנרגיה חדשים שצריכים לעמוד בתנאים קשים.
3. מו"פ מוליכים למחצה: אוניברסיטאות ומעבדות נשבעות בו על גמישותו. זוהי פלטפורמה מרובת-תהליכים המאפשרת לחוקרים לעבור בין חמצון, דיפוזיה ועוד בלי טרחה-מושלם לבדיקת חומרים חדשים כמו תחמוצת גליום או הפעלת ניסויים כדי לראות כיצד פרמטרים שונים מתנערים החוצה.
משתמשים אידיאליים
1. חברות ייצור גדולות-: אם אתם מייצרים מוליכים למחצה עבור מוצרי אלקטרוניקה או רכבי אנרגיה חדשים, ציוד זה הוא חובה-. העיצוב של הכל-ב-אחד מקצץ בעלויות נוספות ושומר על זרימות עבודה זזות, בעוד שהביצועים היציבים שלו מבטיחים שהייצור יישאר במסלול והתפוקה נשארת עקבית-ללא זמן השבתה בלתי צפוי שיאט אותך.
2. מוסדות מחקר ואוניברסיטאות: עבור צוותים החופרים בחומרים חדשים מוליכים למחצה, הכלי הזה מתאים לחשבון. הוא מטפל בניסויים-קטנים באצווה בקלות, עובד עם מגוון רחב של חומרים, ומאפשר לך לכוונן פרמטרים של תהליך לפי הצורך-לעזור להאיץ את קצב החדשנות מבלי להתפשר על התוצאות.
3. יצרני מכשירים בינוניים וקטנים: אם אתה צריך ללהטט בין הזמנות מותאמות אישית עם ייצור אצווה, הציוד הזה הוא בחירה חכמה. הוא עובד עם חומרים מרובים, כך שאינך צריך לקנות כלים נפרדים לתהליכים שונים, והגדרת שפופרת תהליך 1-4 שלו מאפשרת לך להגדיל או להקטין את הקיבולת. הזריזות הזו היא יתרון גדול כשאתה מנסה להישאר תחרותי בשוק שזז במהירות.
