ציוד RTP לחמצון גבוה בטמפרטורה-הוא כלי ליבה תרמי לייצור מוליכים למחצה-בקנה מידה גדול-תפקידו העיקרי הוא ליצור סרטי SiO₂ נקיים וצפופים על מצעי סיליקון, מושלם לייצור התקני CMOS, IGBT ו-MEMS. הוא נמצא בשימוש נרחב בייצור מוליכים למחצה, מוצרי אלקטרוניקה חדשה לאנרגיה, רכיבים אלקטרוניים-מתקדמים, ואפילו הגדרות של אוניברסיטאות/מעבדות מחקר עבור מו"פ מוליכים למחצה וייצור פיילוט.
כיצד לבחור את הדגם הנכון
הבחירה הנכונה מסתכמת בצרכי הייצור ובתהליכי הייצור שלך-הנה פירוט פשוט:
1. 12-דגם אינץ'
אם אתה בעניין של ייצור המוני מתקדם של ופלים-גדולים, זה האחד. הוא יכול להתמודד עם יותר מ- או שווה ל-125 פרוסות לכל סירה, כך שהוא נהדר לייצור-בנפח גדול,-בקנה מידה גדול של התקני מוליכים למחצה ליבה. בנוסף, הוא מציע בקרת טמפרטורה מדויקת (±0.5 מעלות) ואזור טמפרטורה קבוע של יותר מ-850 מ"מ או שווה ל-850 מ"מ, המבטיח עובי סרט עקבי (WIW/WTW/RTR פחות או שווה ל-±2%) עבור כל אצווה.
2. 8-דגם אינץ'
זה הכל על גמישות. זה עובד עם מספר שיטות חמצון-חמצן יבש (Si) וחמצן רטוב (אידוי מהיר/אמבט מים/הצתה של HO)-כך שהוא מתאים לרוב צורכי הייצור ההמוני של הזרם המרכזי. טמפרטורה-מבחינה, היא נעה בין 600-1150 מעלות עם דיוק בקרה של פחות או שווה ל-±0.5 מעלות, ואזור הטמפרטורה הקבוע שלו (300-860 מ"מ) מספק אחידות סרט אמינה (WIW/WTW פחות או שווה ל-±2%). הוא מותאם לייצור המוני בגודל 8 אינץ', כך שהיעילות נשארת בקנה אחד עם הדרישות בקנה מידה גדול.
למי זה מיועד ואיפה זה מתאים
יצרני מוליכים למחצה גדולים: דגם ה-12-אינץ' הוא המקום שלך להפעלת שבבי CMOS, התקני כוח IGBT ורכיבי ליבה אחרים בנפחים גבוהים.
מיינסטרים של חברות אלקטרוניקה/אנרגיה חדשה: דגם ה-8-אינץ' זורח כאן-בין אם אתה מייצר מוצרי אלקטרוניקה לרכב, חלקי ליבת תקשורת 5G, שבבים אלקטרוניים לצרכן או מוליכים למחצה כוח, התאימות הרב-תהליכית שלו שומרת על ייצור חלק.
אוניברסיטאות ומוסדות מחקר: דגם ה-8-אינץ' מושלם לבדיקת חומרים מוליכים למחצה חדשים או לפיתוח אבות-טיפוס של מכשירים חדשניים. זה מסתגל בקלות להגדרות מו"פ שונות, וזה יתרון גדול לעבודת מעבדה.
הערה מהירה על איכות: אנו משתמשים בחומרים מקצועיים ובעיצוב מבני חכם עבור החדר, כך שטוהר הסרט מובטח-ללא זיהומים לא רצויים שמבלבלים דברים. ושני הדגמים מצטיינים בתהליכים יציבים, הודות לבקרת טמפרטורה מדויקת ואיכות סרט עקבית.
עדיין לא בטוח מה הכי מתאים? פנה אלינו, ואנו נעזור לך למצוא את הציוד המתאים לזרימת העבודה שלך!
