בייצור מוליכים למחצה, ציוד עיבוד תרמי מהיר (RTP) מייצר או שובר את תפוקת הפרוסים ואת עקביות התהליך. ציוד RTP אוטומטי בנוי לייצור המוני-עובד עם פרוסות 8-12 אינץ', פועל באופן אוטומטי לחלוטין ושומר על טמפרטורות נקודתיות. אבל בחירת הדגם הנכון היא לא תמיד פשוטה, ולגלות אם הוא מתאים לזרימת העבודה שלך יכולה להיות מסובכת. בואו נפרק את זה במילים פשוטות.
I. שלושה שלבים פשוטים לבחירת הדגם הנכון
שלב 1: התחל עם נפח הייצור שלך (חללים + קלטות)
חלל-יחיד (RTP-200): חלל אחד, 2 קלטות, מעבד 5 פרוסות בשעה, ולעיתים רחוקות מתפרק (MTBF גדול מ-200 שעות או שווה ל-200 שעות). אם אתה מייצר 100 פרוסות או פחות ביום, או בודק תהליכים חדשים, זה הימור מוצק-לבצע את העבודה מבלי לבזבז יותר מדי.
כפול-חלל (RTP-300): 2 חללים, 2-3 קלטות, ומחזיק יותר כוח (עד 200Kw עבור דגם DTS-12). נהדר אם אתה מוציא למעלה מ-100 פרוסות מדי יום וזקוקים לייצור ללא הפסקה. גם התחזוקה מהירה (MTTR פחות או שווה ל-4 שעות), כך שזמן ההשבתה נשאר מינימלי.
שלב 2: התאם פרמטרים לפרוסים ולתהליכים שלך
גודל רקיק: אין צורך להחליף ציוד אם אתה עובר מ-8-אינץ' ל-12 אינץ' - פשוט כוונן את התוכנה. שימושי במיוחד אם אתה מתכנן להגדיל מאוחר יותר.
צרכי טמפרטורה:
עבודות חום-נמוכות (טמפ' חדר עד 800 מעלות): משתמש בצמדים תרמיים, שומר על טמפרטורה עקבית בטווח של ±3 מעלות -טוב עבור חישול מתח נמוך-.
עבודות חום-גבוהות (500-1250 מעלות): מסתמכת על פירומטרים, עם אחידות עד ±0.5% מעל 600 מעלות. מתחמם מהר מדי-150 מעלות לשנייה עבור פרוסות חשופות - מושלם להפעלת השתלת יונים או חישול סרט דק.
סוג מוביל: ספקי SiC מגיעים ל-20 מעלות/שניה, בעוד שגרפיטים מצופים SiC- עולים ל-30 מעלות/שניות-בוחרים את מה שמתאים להגדרה שלך.
שלב 3: ודא שהוא משחק יפה עם ההגדרה הקיימת שלך
אפשרויות קלטת: עובד גם עם מערכות SMIF (סגורות, -ללא אבק) וגם עם מערכות Open Cassette (פתוחות, קל יותר לגישה)-אין צורך לשפץ את ההגדרה הנוכחית שלך.
אינטגרציה של מערכת: מתחבר ישירות לתוכנת EAP/MES שלך ללא טרחה. בנוסף, אתה יכול להגדיר תהליכים שונים לפרוסים באותה קלטת-שימושי במיוחד אם אתה מבצע ריצות קטנות-בהתאמה אישית.
בטיחות ומעקב: שלוש רמות של גישה למשתמש (שומר על אבטחת הנתונים), שומר את כל מידע התהליך לבדיקות מאוחרות יותר, ומכבה אם משהו משתבש-כמו התחממות יתר, דליפות מים או לחץ מבולבל. עצירת החירום-היחידה היא מצילת חיים, ושבירת פרוסות היא נדירה במיוחד (פחות מ-1 ל-10,000).
II. מי באמת מרוויח מהציוד הזה?
יצרני מוליכים למחצה בינוניים-עד-גדולים(ICs, מוליכים למחצה כוח, מוליכים למחצה מורכבים): אתה צריך ציוד שפועל בצורה מהימנה (זמן פעולה של יותר מ-92%), נשאר מדויק (חזרה על טמפ' ±1 מעלות), וגדל עם העסק שלך-זה מסמן את כל התיבות האלה.
חברות אריזה/בדיקות מוליכים למחצה: אריזה ברמת רקיק-(WLP) או מערכת-ב-חבילה (SiP) זקוקה לעיבוד עדין ועקבי. שיעור השבירה הנמוך של ציוד זה והגדרות התהליך הגמישות הופכים אותו להתאמה מצוינת.
יצרני חומרים אלקטרוניים-מתקדמים(מצעי SiC/GaN, פרוסות אפיטקסיאליות): אתה צריך חום גבוה נקי ואחיד ומחזורים תרמיים מהירים. עם רמות חמצן מתחת ל-1 עמודים לדקה, ציוד זה שומר על טהרת החומרים שלך ואיכות-גבוהה.
III. איפה זה עובד הכי טוב
ייצור IC: הפעלת השתלת יונים וחישול סיליקידים-שני שלבים קריטיים שבהם בקרת הטמפרטורה לא יכולה להיות מושבתת.
ייצור מוליכים למחצה כוח: מטפל בטיפולי חום גבוהים- עבור התקני SiC ו-GaN, שזקוקים לעיבוד קשוח ומדויק.
עיבוד פרוסות מצע/אפיטקסיאליות: מחליק פגמים ומפחית מתח במצעי מוליכים למחצה של הדור השלישי-ופלס אפיטקסיאלי.
אריזה ברמת -רקיק: מחזקת את הקשרים בין שבבים לפרוסים מבלי לפגוע ברכיבים עדינים-, הכל אוטומטי, כך שאין טעויות אנוש.
מסכם
בחירת ציוד RTP אוטומטי מסתכמת בשלושה דברים: התאמת חללים לנפח הייצור שלך, פרמטרים לתהליכים שלך, וודא שהוא משתלב עם מה שכבר יש לך. זה לא-כלי-מתאים-לכל אחד, אבל עבור חברות מוליכים למחצה בינוניות עד-גדולות, חנויות אריזה/בדיקות ויצרני חומרים אלקטרוניים, זה סוס עבודה אמין-במיוחד לעבודות-בדיוק{8}} במוצר{8} גבוה. אם אתה משדרג תהליכי חישול, מגדיל קנה מידה, או פשוט צריך יותר עקביות, שווה לבדוק את הציוד הזה מקרוב.
