סקירת מוצר

ציוד ציפוי פרוסות זה מיועד-בנוי עבור פרוסות מוליכים למחצה בגודל 12- אינץ', המותאמות במיוחד לתהליכי חיבור נחושת כפולים של דמשק, המכסה צמתים של 90 ננומטר עד 28 ננומטר.
זהו סוס עבודה משולב במלואו, עמוס בכל הרכיבים הדרושים לך לזרימת עבודה חלקה: 3 יציאות עומס, 4 תאי ציפוי אלקטרוניקה, 4 תאי ניקוי להסרת קצה משופע (EBR), 8 תאי חישול ומערכות אינסטלציה עצמאיות כפולות. אין צורך בתוספות נוספות-כדי לבצע את העבודה.
מתחת למכסה המנוע, הוא כולל טכנולוגיות ליבה ששומרות על ציפוי סלע איכותי-מוצק: ערבוב חומצה אוטומטי, מודולי ואקום/גז ומערכות אנודות הרמה אוטומטיות. ואם אתה רוצה לשפר-לכוון את התהליך שלך עוד יותר? בחר בפונקציית ניתוח פתרונות הציפוי (EC1)-המושלמת לביצוע אופטימיזציה ושמירה על עקביות של תשואות.

תכונות & Cעל פיגורציות

מקסימום 3 יציאות עומס
מקסימום 24 תאי ציפוי: Cu, Ni, Sn/Ag, Au
מקסימום 4 תאי רטוב-, 4 תאי SRD
עיצוב תא ציפוי מסוג מזרקה, ללא סיכון לזיהום צולב
עיצוב מודול PM, זמן פעולה גבוה של הכלים
טכנולוגיית איטום, ביצועי איטום טובים
טכנולוגיית הפרדת קתוליטים/אנוליטים, יציבות פתרון טובה

יישומים

01/

שדה ליבה:ייצור מוליכים למחצה קדמי-(ייצור פרוסות).

02/

תהליך מפתח:ציפוי חיבורי נחושת כפול דמשקאי עבור פרוסות 12 אינץ' (מיושם בצמתי טכנולוגיה של 90/65/55/40/28 ננומטר, ויוצרים קווי נחושת מוליכים במבני שבבים).

פרמטרים

מִפרָט	פרטים
גודל רקיק	12 אינץ'
יעד צמתים טכנולוגיים	90/65/55/40/28 ננומטר
תהליך ליבה	Dual Damascene Copper Interconnect Electroplating
תצורת ציוד	-3 יציאות טעינה -4 תאי ציפוי -4 תאי ניקוי (EBR) -8 תאי חישול -2 מערכות אינסטלציה נפרדות לאמבטיה
מערכות מפתח	- מערכת אוטומטית לערבוב חומצות -מודול ואקום/גז - מערכת אנודי הרמה אוטומטית - בקרת טמפרטורת פתרון ציפוי (2 צ'ילרים)
תכונה אופציונלית	ניתוח פתרונות ציפוי EC1
שדה יישום	ייצור מוליכים למחצה-בחזית