סקירת מוצר
מיקרוסקופ ה-Wafer Inspection שלנו, מערכת בדיקה אופטית חכמה המיועדת לפרוסות מוליכים למחצה, לוחות תצוגה, תאים סולאריים ויישומים תעשייתיים מדויקים אחרים. בשילוב-הדמיה אופטית באיכות גבוהה, בקרת תנועה ממונעת, טכנולוגיית מיקוד אוטומטי ופונקציות מתקדמות של ניתוח תמונה, המערכת מספקת פתרונות בדיקה מדויקים ויעילים לבדיקת פגמים מיקרוסקופיים וזיהוי ליקויים וזיהוי מיקרוסקופי. אופטיקה של מיקרוסקופ עם ביצועים גבוהים- ומודולי בדיקה גמישים, Miracle Inspection מאפשרת למשתמשים לצפות, למדוד, לאתר ולסמן פגמים ברמת המיקרו. הוא תומך במספר מצבי תצפית כולל שדה בהיר, שדה כהה, קיטוב, קרינה ו-DIC, מה שהופך אותו למתאים לדרישות שונות של בדיקת חומרים ותהליכים.
יתרונות
הדמיה אופטית ברזולוציה גבוהה-
המערכת משתמשת באופטיקה מקצועית של מיקרוסקופ כדי לספק תמונות ברורות ומפורטות לבדיקה וניתוח מדויקים.
פוקוס אוטומטי ובקרה ממונעת
מודול המיקוד האוטומטי ושלב ה-XYZ הממונע עוזרים למשתמשים לאתר במהירות אזורי בדיקה ולשמור על מיקוד יציב במהלך הפעולה.
מצבי בדיקה מרובים
תומך במצבי שדה בהיר, שדה כהה, קיטוב, פלואורסצנטי ותצפית DIC כדי לעמוד בדרישות בדיקה שונות.
פונקציית סימון פגמים
עם מודול סימון לייזר אופציונלי, ניתן לסמן פיזית פגמים שזוהו בדגימות לצורך ניתוח נוסף ושיפור תהליכים.
תפירת תמונה והיתוך עומק שדה
פונקציות עיבוד תמונה מתקדמות מאפשרות לשלב תמונות מרובות לתמונות-בשטח גדול או ממוקדות לחלוטין, ולשפר את יעילות הבדיקה.
הפעלה גמישה וקלה
זרימת העבודה המשולבת משלבת פונקציות הדמיה, מדידה, ניתוח ודיווח, צמצום שלבי הפעולה הידניים ושיפור עקביות הבדיקה.
בַּקָשָׁה
בדיקת פרוסות מוליכים למחצה
- בדיקת פגמים על פני השטח של פרוסות מוליכים למחצה
- זיהוי של חלקיקים, שריטות, סדקים ודפוסים חריגים
- ניטור תהליך רקיק לאחר ליטוגרפיה, תחריט, שקיעה ו-CMP
- ניתוח כשל ובדיקת ליקויים
בדיקת לוח תצוגה
- בדיקת מצעי זכוכית וחומרי לוח
- זיהוי מיקרו פגמים ובקרת איכות
- ניתוח דפוס ומשטח
בדיקת תא סולארי
- בדיקת משטח של פרוסות סולריות
- מיקרו סדק וזיהוי פגמים
- הערכת איכות תהליך
מחקר וניתוח מעבדה
- ניתוח חומרים
- תצפית מיקרו-מבנה
- מדידה ותיעוד לדוגמא
מפרטים
| פָּרִיט | מִפרָט |
|---|---|
| סוג בדיקה | מערכת בדיקת מיקרוסקופ אופטי |
| בַּקָשָׁה | פרוסות מוליכים למחצה, פאנל תצוגה, תא סולארי, חומרים מדויקים |
| תאימות רקיק | רקיק בגודל 4 אינץ' / 6 אינץ' / 8 אינץ' (אופציונלי) |
| מערכת אופטית | מערכת אופטית למיקרוסקופ ZEISS |
| מצבי תצפית | שדה בהיר, שדה כהה, DIC, קיטוב, פלואורסצנטי (אופציונלי) |
| פוקוס אוטומטי | נתמך |
| שלב התנועה | שלב XYZ ממונע |
| דיוק XY | פחות או שווה ל-2 מיקרומטר |
| דיוק כוונון עדין של ציר Z- | פחות או שווה ל-1 מיקרומטר |
| הַדמָיָה | תואם לסדרת ZEISS Axiocam ומצלמות צד שלישי- |
| פונקציות מדידה | אורך, זווית, קוטר ומדידה גיאומטרית |
| עיבוד תמונה | תפירת תמונה, איחוי עומק שדה, ניתוח תמונה |
| סימון פגמים | מודול סימון פגמים בלייזר (אופציונלי) |
| טיפול בוואפל | מודול טעינה ופריקה אוטומטית (אופציונלי) |
תגיות פופולריות: מיקרוסקופ לבדיקת רקיק, סין יצרנים, ספקים של מיקרוסקופ לבדיקת רקיק


