ניקוי רקיק מתייחס לתהליך של שימוש בשיטות כימיות או פיזיקליות להסרת מזהמים ותחמוצות מפני השטח של רקיק במהלך ייצור מעגלים משולבים, על מנת לעמוד בדרישות הניקיון של משטח הפרוס. העיקרון של ניקוי פרוסות הוא הסרת זיהומים שונים מבלי לפגוע בופל.
ישנם ארבעה מנגנונים עיקריים להסרת חלקיקים: פירוק, פירוק חמצוני, דחייה חשמלית בין חלקיקים ומשטחי פרוסות סיליקון וקורוזיה קלה של משטחי פרוסות סיליקון.
להסרת חלקיקי מתכת, תמיסת SC-2 או תמיסת HPM משמשת בדרך כלל להפחתת תכולת המתכת על משטח הוופל. תמיסת ה-SC-2 עוברת התגבשות, מה שעשוי להגדיל את מספר החלקיקים על פני הוופל לאחר הניקוי. לכן, ניתן להשתמש ב-HF במקום HCL, או ב-O3 בשילוב עם HF ניתן להשתמש במקום בתמיסת SC-2 כדי להסיר ביעילות חלקיקי מתכת.
עבור מזהמים אורגניים, תמיסת SPM או טכנולוגיית ניקוי יבש UV/אוזון משמשת בדרך כלל להסרה.
לאחר ניקוי רטוב, יש לייבש היטב את הפרוסה כדי לוודא שאין סימני מים על פני השטח לפני הכניסה לתהליך הבא. שלושת מצבי הייבוש הנפוצים ביותר הזמינים כיום הם ייבוש סיבובי, ייבוש מרנגוני וייבוש אטומיזציה חמה של איזופרופנול.
