כיסוי פני השטח של מצע כגון פרוסת סיליקון עם פוטוסיסט רגיש במיוחד, ולאחר מכן הקרנת משטח המצע באור ספציפי (בדרך כלל אור אולטרה סגול, אור אולטרה סגול עמוק, אור אולטרה סגול קיצוני) דרך מסכה המכילה מידע על דפוס מטרה, הפוטורסיסט המוקרן על ידי האור יגיב. לכן, האזור המוקרן לאחר הפיתוח יפיק השפעות שונות מהאזור הלא מוקרן (בהתאם לתכונות הפוטו-רזיסט).
