העצמת גובה חדש בייצור מוליכים למחצה! Nice Tech משיקה ציוד LPCVD כפול-, איזון דיוק ויעילות
אם עקבת אחר ההתקדמות של ציוד מוליכים למחצה, תדע עד כמה כלים אמינים של LPCVD הם גדולים-במיוחד עבור צוותים שמלהטטנים הן במו"פ והן בייצור המוני. זו הסיבה שסדרת ה-LPCVD האופקית והאנכית של נייס טק זה עתה-שנחשפה מרגישה כמו מחלפת משחק-. אלה לא רק "עוד סט של מכונות"; הם בנויים כדי לתקן נקודות כאב אמיתיות ששמענו ממהנדסים: אחידות סרט נקודתי, מגבלות קשיחות של גודל פרוסות והטרחה במעבר בין תהליכים.
לכל מי שחדש ב-LPCVD: זהו עמוד השדרה של יצירת סרטי מוליכים למחצה מרכזיים-סיליקון ניטריד, תחמוצת, סיליקון רב גבישי-על ידי חימום תרכובות גז בלחץ נמוך לציפוי פרוסות. נייס טק משנים את הטכנולוגיה הזו במשך שנים, ועם שני הדגמים האלה, הם תפסו את מה שצוותים שונים באמת צריכים.
קח תחילה את ה-LPCVD האופקי. זה מיועד לאנשים שחובשים מספר כובעים-כמו צוותי מחקר ופיתוח שבודקים תהליכים חדשים בשבוע אחד ומגבירים את הייצור-קטן למחרת. זה עובר בין חמצון, דיפוזיה וחישול ללא מהומה, מה שחוסך כל כך הרבה זמן בהשוואה ללהטוט עם כלים נפרדים. ראינו מעבדות מבזבזות שעות בתצורה מחדש של ציוד; זה חותך את זה. הוא מטפל בפרוסות בגודל 8-אינץ' ומטה, והסרט אחיד? באופן עקבי מתחת ל-±2%. בנוסף, המבנה שלו קשה, פועל במשך שבועות ללא השבתה, מה שחשוב כשאתה על ציר זמן צפוף של הפרויקט.
LPCVD אופקי
ואז יש את ה-LPCVD האנכי, שנבנה עבור הליגות הגדולות: ייצור המוני של פרוסות 6-12 אינץ'. אם הקו שלך עוסק כולו באוטומציה (ובואו נהיה אמיתיים, רוב המתקנים המודרניים כן), זה מתאים בדיוק. לא עוד שינויים ידניים שמאטים את העניינים-הוא מסתנכרן עם קווי ייצור חכמים בצורה חלקה. זה מסמר גם תצהיר דק של-SiC, שהוא עצום עבור התקני הספק-בטמפרטורה גבוהה במוליכים למחצה רחבים-בפער פס. האחידות כאן היא ±3%, וזה די והותר להרצה בקנה מידה גדול, והיא עומדת ביעדי ייצור צפופים מבלי לוותר על האיכות.
LPCVD אנכי
שניהם חולקים כמה יסודות חכמים: בקרת טמפרטורה שנשארת בטווח של ±0.5 מעלות (קריטי לסרטים עקביים) וטווח של 500-800 מעלות שעובד עבור רוב הסרטים הדקים המיינסטרים. ואם אתה צריך משהו מעבר לשלושת הסרטים הסטנדרטיים? הצוות של נייס טק ימציא פתרון מותאם אישית - שוחחנו עם המהנדסים שלהם, והם די גמישים לגבי כוונון תהליכים לצרכים ספציפיים.
הנה הדבר שאנחנו הכי אוהבים: הם לא מאלצים אותך לבחור בין "כלי מו"פ" ל"כלי ייצור". האופקי מושלם למעבדות הבודקות ליתיום ניובאט או סרטי שבבים קוונטיים; האנכי זורח במפעלים המוציאים פרוסות 12-אינץ' עבור ICs. ותחזוקה? כל 6-12 חודשים, רק ניקוי החלל וכיול טמפ' - נייס טק אפילו שולחת תזכורות כדי שלא תשכח.
המהנדס הראשי של נייס טק ניסח זאת בפשטות: "לא רק בנינו מכונות-אנחנו בנינו משהו שצומח עם העבודה שלך." זו האווירה כאן. כלים אלה אינם עוסקים בסימון תיבות; הם עוסקים בהקלה על צוותים להגיע ליעדים שלהם, בין אם זה אימות תהליך חדש או הגדלת הייצור.
כרגע, -הזמנות מראש פתוחות. אם נמאס לכם מכלים שעושים רק דבר אחד, או שדורשים דוקטורט כדי להמשיך לרוץ, שווה לפנות לצוות שלהם. אנחנו חושבים שזה יכול להיות סוג הציוד שמוציא את כאב הראש מהתצהיר של-סרט דק- גם למעבדה וגם לרצפת המפעל.
