ציוד מקרטעת מגנטרון הוא עמוד השדרה של טכנולוגיית PVD-שלושת הדגמים שלנו מונחים כולם-מתכת, דיאלקטרי ומוליכים למחצה מהשורה הראשונה, אבל הם בנויים לעבודות שונות. אם אתה מגרד את הראש על איזה מהם מתאים, המדריך הזה מפרק את זה בפשטות, בהתבסס על מי משתמש בהם ולמה הם משמשים.
למי מיועד כל דגם?
דגם יחיד-תעשייתי: מיוצר עבור יצרני מוליכים למחצה גדולים המוציאים CMOS/IGBT ומעגלים משולבים אחרים. הצוותים האלה צריכים תפוקה קבועה, עלויות שוטפות נמוכות וציוד שקל לעקוב-, משהו שגולש ישירות לתוך פסי הייצור ההמוניים שלהם בלי להתעסק.
דגם רב-תעשייתי רב קאמרי: אידיאלי עבור יצרני מכשירים אלקטרוניים-מתקדמים המתמקדים ב-5G או אופטואלקטרוניקה. הם מתמודדים עם סרטים מרובי-שכבתיים מורכבים בקנה מידה, כך שאוטומציה, דיוק ועיבוד נקי (ללא זיהום משלבים ידניים) אינם-ניתנים למשא ומתן.
מחקר-מודל ציון: מושלם עבור אוניברסיטאות, מעבדות וסטארט-אפים חדשים של חומרים. אנשים כאן בודקים אצוות קטנות-חושבים על אבות-טיפוס של סיליקון קרביד או שבב קוונטי-אז הם צריכים גמישות כדי לכוונן את ההגדרות ולשמור על עלויות המחקר והפיתוח.
למה הם משמשים?
דגם יחיד-תעשייתי: זורח בהמוניה-מפיק סרטים סטנדרטיים על פרוסות 8-אינץ' (או קטנות יותר). זה מהיר, עקבי (אחידות הסרט נשארת מתחת ל-3%), ומשתמש ביעדים ביעילות כדי לצמצם עלויות. עובד נהדר עם סיליקון, תרכובות, קרמיקה - כל מרכיבי הייצור התעשייתי.
דגם רב-תעשייתי רב קאמרי: מטפל בדברים הקשים: ייצור-בקנה מידה גדול של סרטים מרובי-שכבתיים מורכבים עבור 5G ומכשירים אופטו-אלקטרוניים. התאים המודולריים והאוטומטיים שלו מגבירים את היעילות, בעוד שבקרת חלקיקים מתקדמת שומרת על טהור הסרטים- במיוחד. מתאים לפרוסות בגודל 6-8 אינץ' ומשחק יפה עם סיליקון, תרכובות ועוד.
מחקר-מודל ציון: מגרש משחקים למו"פ. תומך ב-מטרה יחידה,-מרובת יעדים עוקבים, או-בתזת-מעולה לבדיקת מתכות (Al, Au, Cu), דיאלקטריות (SiO₂, TaN) ומוליכים למחצה. יש לו בקרת טמפ' מדויקת (RT-600 מעלות, חימום/קירור) ועיבוד אצווה קטן- כדי לחסוך בריצות ניסיון, בתוספת תוספות אופציונליות כמו תאי טרום ואקום.
בחירה מהירה: 3 שלבים פשוטים
התחל עם המטרה העיקרית שלך: ייצור המוני? לך תעשייתי. מו"פ? תפוס את מודל המחקר.
צמצם את זה: סרטים סטנדרטיים/8-אינץ' ייצור המוני של פרוסות ← תא יחיד-. סרטים מרובי-שכבתיים ← רב- קאמריים. בדיקות אצווה קטנות-גמישות → בדרגת מחקר.
-בדוק את פרטי המפתח כפולים: גודל רקיק (מקסימום 8-אינץ' ליחיד/מחקר, 6-8 אינץ' לרב-תאי), תאימות חומרים (כולם תומכים בדברי סיליקון שאינם-כמו קרמיקה או מתכות), ושדרוגים (רב-יכולת תכנון תא/תותח, דגמי מחקר, קדימה).
